晶圆内应力检测仪 SV200

优势

1. 基于双折射应力测量模型实现应力瞬时测量

2. 采用专利双远心检测光路，相位延迟测量精度高

3. 高成像解析度呈现材料微小内部缺陷（微管，晶界滑移）

适用对象

适用于化合物晶圆片（SiC、GaO等）、蓝宝石晶圆、玻璃晶圆片、精密光学元件（平晶，棱镜，波片，透镜等）的内应力检测
 

适用领域

面向化合物晶圆籽晶筛选、长晶质量管控，晶圆加工工艺管控、晶圆成品质量管控等晶圆生产过程

测量原理

• 基于偏振光应力双折射效应检测晶圆材料内部残余应力分布。当晶体材料由于长晶环境温度梯度和晶体内部缺陷导致产生内应力时，材料会呈现出应力双折射效应，偏振光透过它时会发生偏振态调制，通过测量透射光的斯托克斯矢量可以推算出材料的光学延迟量，从而测量出材料内应力分布。
• 可同步集成晶圆微管缺陷检测和尺寸量测功能

实测案例

内应力图像（灰度图、伪彩图，样品 1）

测试数据（样品 1）

内应力图像（灰度图，样品2，红色代表应力角方向）

测试数据（样品2）

SV200 技术规格

澳门新葡萄新京6663内应力检测仪将晶圆全口径内应力数值、方位角等分析整合进入一键测量，确保我们的客户能够快速确认工艺和生产管控。